ºìÍâ̽²âÆ÷Â˹âƬ·ÖÎöÓ¦Óüò½é
ºìÍâ̽²âÆ÷ÊÇÒ»ÖÖ½«ºìÍâ·øÉ䣨²¨³¤·¶Î§Ô¼0.75¦Ìm~1000¦Ìm£©×ª»»ÎªµçÐźŵÄ×°Öã¬ÆäºËÐŤ×÷ÔÀí»ùÓÚ¹âµçЧӦ»òÈÈЧӦ£»³£¼ûÒ»°ã·ÖΪ¹âµçÐÍ̽²âÆ÷ºÍÈÈÊ͵çÐÍ̽²âÆ÷£»¹âµçÐÍ̽²âÆ÷£¨ÈçíÚïÓ¹¯¡¢î÷ïØÉ飩ͨ¹ýºìÍâ¹â×Ó¼¤·¢°ëµ¼Ìå²ÄÁÏÖеĵç×ÓԾǨ£¬²úÉú¹âµçÁ÷¡£ÈÈÊ͵çÐÍ̽²âÆ÷£¨ÈçîãËáﮡ¢ÁòËáÈý¸ÊëÄ£©ÀûÓúìÍâ·øÉäµÄÈÈЧӦ¸Ä±ä²ÄÁϼ«»¯×´Ì¬£¬Êä³öµçÐźš£ µ±È»£¬ÎÞÂÛÄÄÖÖÀàÐÍ£¬ºìÍâ̽²âÆ÷¶¼ÐèҪͨ¹ý¹âѧϵͳ£¨Í¸¾µ¡¢Â˹âƬµÈ£©¶ÔÈëÉä¹â½øÐÐɸѡºÍ¾Û½¹£¬ÒÔÌáÉýÐÅÔë±ÈºÍ̽²â¾«¶È¡£
£¨Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ£©
Ò»¡¢ºìÍâ¹â·ÔÀíÓëÂ˹âƬµÄ×÷ÓÃ
µäÐ͵ĺìÍâ̽²âÆ÷¹â·½á¹¹°üÀ¨£ººìÍâ¹âÔ´ ¡ú Ä¿±êÎïÌå ¡ú ¹âѧ͸¾µ×é ¡ú Â˹âƬ ¡ú ̽²âÆ÷¸Ð¹âÃæ¡£ÆäÖУ¬Â˹âƬµÄºËÐÄ×÷ÓÃÊÇͨ¹ýÌض¨²¨¶ÎºìÍâ¹âͨ¹ýʵÏÖ²¨¶Îɸѡ£¬ÒÖÖƱ³¾°¸ÉÈÅ£¨Èç¿É¼û¹â¡¢ÔÓÉ¢ÈÈ·øÉ䣩¡£Ôڶನ¶Î̽²âÖУ¬Í¨¹ý·Ö¹âÂ˹âƬʵÏÖ²»Í¬Í¨µÀµÄÐźŷÖÀëʵÏÖ¹âÆ×·ÖÀ루ÀýÈçÆøÌå¼ì²âÖеĶà×é·Ö·ÖÎö£©¡£
ºìÍâÂ˹âƬ³£¼ûÀàÐÍÓëÓ¦Óó¡¾°
Â˹âƬÀàÐÍ | Ó¦Óò¨¶Î£¨µäÐÍ£© | ºËÐŦÄÜ | µäÐÍÓ¦Óó¡¾° |
´øͨÂ˹âƬ | 3~5¦Ìm¡¢8~14¦Ìm | ½Ø³ý·ÇÄ¿±ê²¨¶Î | ÈȳÉÏñ¡¢»ðÑæ̽²â¡¢ÆøÌå·ÖÎö |
³¤²¨Í¨Â˹âƬ | >8¦Ìm | ÒÖÖƶ̲¨ÔëÉù | Ô¶ºìÍâ²âΡ¢Ò¹ÊÓ³ÉÏñ |
¶Ì²¨Í¨Â˹âƬ | <3¦Ìm | ×èµ²³¤²¨ÈÈ·øÉä | ½üºìÍâ¹âÆ×·ÖÎö¡¢¼¤¹â·À»¤ |
Õ´øÂ˹âƬ | Ìض¨ÎüÊշ壨ÈçCO?µÄ4.26¦Ìm£© | ¸ß¾«¶È¹âÆ×ÌáÈ¡ | ÆøÌå¼ì²â£¨CH?¡¢CO?¡¢NOxµÈ£© |
·Ö¹âÂ˹âƬ | ¶àͨµÀ£¨Èç3~5¦Ìm + 8~12¦Ìm£© | ¶à²¨¶Îͬ²½Ì½²â | ¶à¹âÆ׳ÉÏñ¡¢»·¾³¼à²â |
£¨Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ£©
¶þ¡¢Â˹âƬ¹Ø¼ü²ÎÊýÓë¼¼ÊõÒªÇó
ΪÂú×ãºìÍâ̽²âÐèÇó£¬Â˹âƬÐèÂú×ãÒÔϺËÐIJÎÊý±ê×¼£º
1. ¹âÆ×ÐÔÄÜ
͸¹ýÂÊ£ºÄ¿±ê²¨¶ÎÄÚƽ¾ù͸¹ýÂÊÐè¡Ý85%£¨Õ´øÂ˹âƬÖÐÐIJ¨³¤Í¸¹ýÂÊ¡Ý90%£©¡£
½ØÖ¹Éî¶È£º·Çͨ´øÇøÓò½ØÖ¹Éî¶ÈÐè¡Ü0.1%£¨ÀýÈç8~14¦Ìm´øͨÂ˹âƬÔڿɼû¹âÖÁ7.5¦Ìm²¨¶ÎÐèÍêÈ«½ØÖ¹£©¡£
¹ý¶É´ø¶¸¶È£º´øͨÂ˹âƬµÄ±ßÔµ¶¸¶ÈÐè¡Ü5%²¨³¤Æ«ÒÆ£¨Èç8~14¦ÌmÂ˹âƬÔÚ7.5~8¦Ìm¹ý¶ÉÇø͸¹ýÂÊ´Ó0%ÉýÖÁ80%£©¡£
2. »ù²ÄÑ¡Ôñ
½üºìÍ⣨0.75~3¦Ìm£©£º¹è£¨Si£©¡¢Ê¯Ó¢²£Á§£¨¸ß»úеǿ¶È£¬µ«Ðè¶ÆĤÔöÇ¿ºìÍâ͸¹ý£©¡£
ÖкìÍ⣨3~5¦Ìm£©£º·ú»¯¸Æ£¨CaF?£©¡¢Áò»¯Ð¿£¨ZnS£¬Ä͸ßο¹¸¯Ê´£©¡£
Ô¶ºìÍ⣨8~14¦Ìm£©£ºÕࣨGe£¬¸ßÕÛÉäÂÊÐèÔö͸Ĥ£©¡¢Îø»¯Ð¿£¨ZnSe£¬µÍÎüÊÕËðºÄ£©¡£
3. ¶ÆĤÉè¼Æ
Ó²Öʶà²ãĤ£¨ÈçTiO?/SiO?½»Ìæ¶Æ²ã£©ÒÔÌáÉýÄ;ÃÐԺͻ·¾³ÊÊÓ¦ÐÔ¡£
´øͨÂ˹âƬÐè²ÉÓ÷ÇÖÜÆÚÐÔĤϵÉè¼Æ£¨APF£©£¬Æ½ºâͨ´øƽ̹¶ÈºÍ½ØÖ¹Éî¶È¡£
4. »·¾³¿É¿¿ÐÔ
ζÈÎȶ¨ÐÔ£ºÔÚ-40¡æ~+85¡æ·¶Î§ÄÚ£¬¹âÆ×Æ«ÒÆ¡Ü¡À1%£¨¾üÓü¶ÒªÇó¡Ü¡À0.5%£©¡£
ʪ¶ÈÄÍÊÜ£ºÍ¨¹ý85¡æ/85%RHË«85²âÊÔºó£¬Ä¤²ãÎÞÍÑÂä¡¢ÆðÅÝ¡£
5. ¹âѧÑéÊÕ±ê×¼
¹âÆ×¼ì²â£ºÒÀ¾ÝMIL-PRF-13830B±ê×¼£¬Ê¹ÓøµÀïÒ¶ºìÍâ¹âÆ×ÒÇ£¨FTIR£©½øÐÐÈ«²¨¶ÎɨÃè¡£
ÃæÐ;«¶È£ºPVÖµ¡Ü¦Ë/4@632.8nm£¬±ÜÃâ¹â·»û±ä¡£
Èý¡¢µäÐÍÓ¦Óð¸Àý·ÖÎö
Àý×Ó£ºµ±Â˹âƬÓÃÓÚ¹¤ÒµÆøÌåй©¼ì²â£¬ÈçÐè¼ì²â¼×Í飨CH?£©ÔÚ3.3¦ÌmµÄÌØÕ÷ÎüÊշ壬¿ÉÑ¡ÔñCaF?×÷Ϊ»ù²Ä£¨·ú»¯¸ÆÔÚºìÍâ±íÏÖΪ¸ß͸¹ýÂÊ£¬ÄÍÈȳå»÷£©½øÐÐÕ´øÂ˹âƬ¶ÆĤ£¬£¨ÖÐÐIJ¨³¤3.3¦Ìm¡À0.05¦Ìm£¬´ø¿í50nm£¬Í¸¹ýÂÊ¡Ý90%£©¡£
µ±ºìÍâÂ˹âƬÓÃÓÚÈËÌå²âÎÂÈȳÉÏñʱ£¬¿ÉÑ¡¶ÆÔö͸ĤµÄÕàƬ£¬ÆäÌصãÔÚÓÚ¼æ¹Ë¸ß͸¹ýÂÊÓë»úеǿ¶È£¬Äܹ»ÓÐЧÒÖÖƿɼû¹â¸ÉÈÅ£¬¾Û½¹8~14¦ÌmÈËÌåÈÈ·øÉ䲨¶Î£¬Í¬Ê±²ÉÓ󤲨ͨºìÍâ½øÐжÆĤ·½°¸£¨½ØÖ¹²¨³¤¡Ü7.5¦Ìm£¬8~14¦Ìm͸¹ýÂÊ¡Ý92%£©¡£
ËÄ¡¢Î´À´·¢Õ¹Ç÷ÊÆ
Ä¿Ç°¶øÑÔ£¬Õë¶ÔºìÍâ̽²âÆ÷Â˹âƬÖ÷Òª¸²¸ÇÈý¸ö·½Ã棻
1. ³¬Õ´øÂ˹âƬ£º¹âÆ×´ø¿íÏòÄÉÃ×¼¶·¢Õ¹£¬Ö§³Ö¸ß·Ö±æÂʹâÆ×·ÖÎö¡£
2. ÖÇÄܿɵ÷Â˹âƬ£º»ùÓÚMEMS»òÒº¾§¼¼Êõ£¬ÊµÏÖ¶¯Ì¬²¨¶ÎÇл»¡£
3. Äͼ«¶Ë»·¾³¶ÆĤ£ºÊÊÓ¦º½¿Õº½Ìì¡¢É̽²âµÈÑÏ¿Á³¡¾°¡£
×ܵÄÀ´Ëµ£¬ºìÍâ̽²âÆ÷Â˹âƬ¶ÔÓÚºìÍâ¹âѧϵͳ·¢»Ó׏ؼüÐÔ×÷Óã¬ÆäÖÆ×÷µ½²úÆ·Ó¦Óö¼¾õµÃ×ÅÆäʵ¼ÊµÄʹÓÃЧ¹û£¬ËæןìÍâ¼¼ÊõÏòÖÇÄÜ»¯¡¢Î¢ÐÍ»¯·¢Õ¹£¬Â˹âƬµÄÉè¼ÆÓëÖÆÔ콫³ÖÐøÍƶ¯ºìÍâ̽²âÁìÓòµÄ´´ÐÂÍ»ÆÆ¡£