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    Ò»¡¢²úÆ·½á¹¹Óë×é³É

    1.1 »ù´¡½á¹¹

    ºËÐIJ㣺³¬±¡²£Á§»ù°å£¨ºñ¶È50-300¦Ìm£©£¬³£ÓòÄÁϰüÀ¨ÄƸƲ£Á§¡¢Åð¹èËáÑβ£Á§»òʯӢ²£Á§

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    ½áºÏ²ã£ºÍ¨¹ý´Å¿Ø½¦Éä¡¢»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£¨CVD£©»òµÈÀë×ӻ¹¤ÒÕÐγɵĹý¶É²ã£¨ÈçCr/Cu»òTi/Cu¸´ºÏ²ã£©


    1.2 µäÐͼ¼Êõ²ÎÊý

    ²ÎÊýÏî

    Ö¸±ê·¶Î§

    ²âÊÔ±ê×¼

    ½éµç³£Êý£¨@10GHz£©

    5.4-6.7

    IPC-TM-650 2.5.5.5

    ÈÈÅòÕÍϵÊý£¨CTE£©

    3.2-7.5 ppm/¡æ

    ASTM E831

    µ¼ÈÈϵÊý

    1.1-1.5 W/(m¡¤K)

    ASTM D5470

    ¿¹ÍäÇ¿¶È

    >200 MPa

    JIS R1601

    ±íÃæÆ½Õû¶È

    <5¦Ìm/100mm

    ISO 10110-5



    ¶þ¡¢ºËÐÄÌØÐÔÓëÓÅÊÆ

    2.1 ¸ßƵÐÔÄÜÓÅÊÆ

    µÍ½éµçËðºÄ£ºtan¦Ä<0.002 @10GHz£¨´«Í³FR-4»ù°åtan¦Ä¡Ö0.02£©

    ÐźÅÍêÕûÐÔ£ºÌØÕ÷×迹¿ØÖƾ«¶È¡À3%£¬ÊʺÏ28GHzÒÔÉϺÁÃײ¨Ó¦ÓÃ

    µç´ÅÆÁ±Î£ºÍ­²ãÁ¬Ðø¸²¸ÇÂÊ>99.9%£¬ÒÖÖÆµç´Å¸ÉÈÅ£¨EMI£©


    2.2 ÈÈ»úÐµÌØÐÔ

    ³ß´çÎȶ¨ÐÔ£ºÈÈÅòÕÍϵÊý£¨CTE£©Óë¹èоƬ£¨2.6 ppm/¡æ£©¸ß¶ÈÆ¥Åä

    Ä͸ßÎÂÐÔ£º²£Á§»¯×ª±äζȣ¨Tg£©>500¡æ£¬Ö§³Ö»ØÁ÷º¸£¨260¡æ£©¹¤ÒÕ

    »úеǿ¶È£ºÑîÊÏÄ£Á¿70-90GPa£¬ÊÇFR-4»ù°åµÄ3-5±¶


    2.3 ¹¤ÒÕ¼æÈÝÐÔ

    ΢ϸÏß·¼Ó¹¤£ºÖ§³ÖÏß¿í/Ïß¾à¡Ü15¦ÌmµÄ¾«Ï¸Ïß·ʴ¿Ì

    ¶à²ã¶Ñµþ£º¿Éͨ¹ý¼¤¹â×ê¿×ʵÏÖ΢¿×£¨¿×¾¶¡Ü50¦Ìm£©»¥Á¬

    ±íÃæ´¦Àí£º¼æÈÝENIG£¨»¯Ñ§Äø½ð£©¡¢OSP£¨Óлú±£º¸Ä¤£©µÈ¹¤ÒÕ



    Èý¡¢Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÁìÓò

    3.1 ¸ßƵͨÐÅÉ豸

    5G»ùÕ¾£ºMassive MIMOÌìÏßÕóÁлù°å

    ºÁÃײ¨À״77GHz³µÔØÀ×´ïÉäÆµÇ°¶Ë

    ÎÀÐÇͨÐÅ£ºKa²¨¶Î£¨26.5-40GHz£©Ïà¿ØÕóÄ£¿é


    3.2 ÏȽø°ëµ¼Ìå·â×°

    2.5D/3D·â×°£º¹èÖнé²ã£¨Interposer£©Ìæ´ú·½°¸

    Chiplet¼¯³É£ºÒ칹оƬ»¥Á¬µÄÔÙ²¼Ï߲㣨RDL£©

    ¹âµç×Ó·â×°£º¼¤¹âÆ÷/̽²âÆ÷¹²·â×°£¨CPO£©»ù°å


    3.3 ÌØÖÖµç×ÓÉ豸

    ¸ß¹¦ÂÊLED£ºµÍÈÈ×èCOB£¨Chip on Board£©»ù°å

    º½¿Õº½Ììµç×Ó£º¿¹·øÉäÐÇÔØ¼ÆËã»úÖ÷°å

    Ò½ÁÆÓ°ÏñÉ豸£ºCT̽²âÆ÷ÕóÁÐÖ§³Å»ù°å



    ËÄ¡¢ÖÆÔ칤ÒÕÁ÷³Ì

    4.1 ºËÐŤÒÕ²½Öè

    ²£Á§»ù°åÔ¤´¦Àí£º

    ¼¤¹âÇиƤÃ뼤¹â¾«¶È¡À5¦Ìm£©

    »¯Ñ§Ç¿»¯£¨K+Àë×Ó½»»»£¬±íÃæÑ¹Ó¦Á¦>700MPa£©

    µÈÀë×ÓÇåÏ´£¨Ar/O?»ìºÏÆøÌ壬½Ó´¥½Ç<5¡ã£©


    ½ðÊô»¯´¦Àí£º

    ´Å¿Ø½¦Éä³Á»ý×èµ²²ã£¨Ti/Cr£¬ºñ¶È50-100nm£©

    µç¶ÆÔöºñÍ­²ã£¨ËáÐÔÁòËáÍ­Ìåϵ£¬³Á»ýËÙÂÊ2-5¦Ìm/min£©

    ͼÐλ¯Ê´¿Ì£¨¸ÉĤ¹â¿Ì+΢ʴ¿Ì£¬²à±Ú½Ç¶È85-90¡ã£©


    ºó´¦Àí¹¤ÒÕ£º

    ºÚÑõ»¯´¦Àí£¨CuO²ãºñ¶È0.3-0.8¦Ìm£©

    ±íÃæ¶Û»¯£¨±½²¢ÈýßòÀ໺ʴ¼ÁÍ¿¸²£©

    ¼¤¹â´ò±ê£¨¶þάÂë×·ËÝϵͳ£©


    4.2 ÖÊÁ¿¿ØÖƹؼüµã

    ȱÏݼì²â£ºAOI£¨×Ô¶¯¹âѧ¼ì²â£©ÏµÍ³Ê¶±ð¡Ý5¦ÌmµÄÍ­²ãȱÏÝ

    ¿É¿¿ÐÔ²âÊÔ£º

    ÈÈÑ­»·²âÊÔ£º-55¡æ~+125¡æ 1000´ÎÑ­»·£¨IPC-9701£©

    ¸ßѹÕôÖóÊÔÑ飺121¡æ/100%RH/2atm 96Сʱ£¨JEDEC JESD22-A102£©

    Àë×ÓÇ¨ÒÆ²âÊÔ£º85¡æ/85%RH/5V DC 1000Сʱ£¨IPC-TM-650 2.6.14£©

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