²£Á§¸²Í»ù°å£¨Glass-Clad Copper Substrate£¬¼ò³ÆGCC£©ÊÇÒ»ÖÖÒÔÌØÖÖ²£Á§Îª»ù²Ä¡¢±íÃ渲͵ÄÐÂÐ͸ßÐÔÄܵç×Ó»ù°å²ÄÁÏ¡£Æä½áºÏÁ˲£Á§µÄÓÅÒìÎïÀíÌØÐÔÓë͵ĸߵ¼µçÐÔ£¬¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚ¸ßƵͨÐÅ¡¢°ëµ¼Ìå·â×°¡¢ÏȽø·â×°£¨ÈçFCBGA¡¢FOWLP£©¡¢Î¢µç×Ó»úеϵͳ£¨MEMS£©µÈÁìÓò£¬ÊÇ5GͨÐÅ¡¢È˹¤ÖÇÄÜоƬ¡¢³µÔØÀ×´ïµÈ¸ß¶Ëµç×ÓÉ豸µÄ¹Ø¼ü»ù´¡²ÄÁÏ¡£
Ò»¡¢²úÆ·½á¹¹Óë×é³É
1.1 »ù´¡½á¹¹
ºËÐIJ㣺³¬±¡²£Á§»ù°å£¨ºñ¶È50-300¦Ìm£©£¬³£ÓòÄÁÏ°üÀ¨ÄƸƲ£Á§¡¢Åð¹èËáÑβ£Á§»òʯӢ²£Á§
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1.2 µäÐͼ¼Êõ²ÎÊý
²ÎÊýÏî | Ö¸±ê·¶Î§ | ²âÊÔ±ê×¼ |
½éµç³£Êý£¨@10GHz£© | 5.4-6.7 | IPC-TM-650 2.5.5.5 |
ÈÈÅòÕÍϵÊý£¨CTE£© | 3.2-7.5 ppm/¡æ | ASTM E831 |
µ¼ÈÈϵÊý | 1.1-1.5 W/(m¡¤K) | ASTM D5470 |
¿¹ÍäÇ¿¶È | >200 MPa | JIS R1601 |
±íÃæƽÕû¶È | <5¦Ìm/100mm | ISO 10110-5 |
¶þ¡¢ºËÐÄÌØÐÔÓëÓÅÊÆ
2.1 ¸ßƵÐÔÄÜÓÅÊÆ
µÍ½éµçËðºÄ£ºtan¦Ä<0.002 @10GHz£¨´«Í³FR-4»ù°åtan¦Ä¡Ö0.02£©
ÐźÅÍêÕûÐÔ£ºÌØÕ÷×迹¿ØÖƾ«¶È¡À3%£¬ÊʺÏ28GHzÒÔÉϺÁÃײ¨Ó¦ÓÃ
µç´ÅÆÁ±Î£ºÍ²ãÁ¬Ðø¸²¸ÇÂÊ>99.9%£¬ÒÖÖƵç´Å¸ÉÈÅ£¨EMI£©
2.2 ÈÈ»úеÌØÐÔ
³ß´çÎȶ¨ÐÔ£ºÈÈÅòÕÍϵÊý£¨CTE£©Óë¹èоƬ£¨2.6 ppm/¡æ£©¸ß¶ÈÆ¥Åä
Ä͸ßÎÂÐÔ£º²£Á§»¯×ª±äζȣ¨Tg£©>500¡æ£¬Ö§³Ö»ØÁ÷º¸£¨260¡æ£©¹¤ÒÕ
»úеǿ¶È£ºÑîÊÏÄ£Á¿70-90GPa£¬ÊÇFR-4»ù°åµÄ3-5±¶
2.3 ¹¤ÒÕ¼æÈÝÐÔ
΢ϸÏß·¼Ó¹¤£ºÖ§³ÖÏß¿í/Ïß¾à¡Ü15¦ÌmµÄ¾«Ï¸Ïß·ʴ¿Ì
¶à²ã¶Ñµþ£º¿Éͨ¹ý¼¤¹â×ê¿×ʵÏÖ΢¿×£¨¿×¾¶¡Ü50¦Ìm£©»¥Á¬
±íÃæ´¦Àí£º¼æÈÝENIG£¨»¯Ñ§Äø½ð£©¡¢OSP£¨Óлú±£º¸Ä¤£©µÈ¹¤ÒÕ
Èý¡¢Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÁìÓò
3.1 ¸ßƵͨÐÅÉ豸
5G»ùÕ¾£ºMassive MIMOÌìÏßÕóÁлù°å
ºÁÃײ¨À״77GHz³µÔØÀ×´ïÉäƵǰ¶Ë
ÎÀÐÇͨÐÅ£ºKa²¨¶Î£¨26.5-40GHz£©Ïà¿ØÕóÄ£¿é
3.2 ÏȽø°ëµ¼Ìå·â×°
2.5D/3D·â×°£º¹èÖнé²ã£¨Interposer£©Ìæ´ú·½°¸
Chiplet¼¯³É£ºÒ칹оƬ»¥Á¬µÄÔÙ²¼Ï߲㣨RDL£©
¹âµç×Ó·â×°£º¼¤¹âÆ÷/̽²âÆ÷¹²·â×°£¨CPO£©»ù°å
3.3 ÌØÖÖµç×ÓÉ豸
¸ß¹¦ÂÊLED£ºµÍÈÈ×èCOB£¨Chip on Board£©»ù°å
º½¿Õº½Ììµç×Ó£º¿¹·øÉäÐÇÔؼÆËã»úÖ÷°å
Ò½ÁÆÓ°ÏñÉ豸£ºCT̽²âÆ÷ÕóÁÐÖ§³Å»ù°å
ËÄ¡¢ÖÆÔ칤ÒÕÁ÷³Ì
4.1 ºËÐŤÒÕ²½Öè
²£Á§»ù°åÔ¤´¦Àí£º
¼¤¹âÇиƤÃ뼤¹â¾«¶È¡À5¦Ìm£©
»¯Ñ§Ç¿»¯£¨K+Àë×Ó½»»»£¬±íÃæѹӦÁ¦>700MPa£©
µÈÀë×ÓÇåÏ´£¨Ar/O?»ìºÏÆøÌ壬½Ó´¥½Ç<5¡ã£©
½ðÊô»¯´¦Àí£º
´Å¿Ø½¦Éä³Á»ý×èµ²²ã£¨Ti/Cr£¬ºñ¶È50-100nm£©
µç¶ÆÔöºñͲ㣨ËáÐÔÁòËáÍÌåϵ£¬³Á»ýËÙÂÊ2-5¦Ìm/min£©
ͼÐλ¯Ê´¿Ì£¨¸ÉĤ¹â¿Ì+΢ʴ¿Ì£¬²à±Ú½Ç¶È85-90¡ã£©
ºó´¦Àí¹¤ÒÕ£º
ºÚÑõ»¯´¦Àí£¨CuO²ãºñ¶È0.3-0.8¦Ìm£©
±íÃæ¶Û»¯£¨±½²¢ÈýßòÀ໺ʴ¼ÁÍ¿¸²£©
¼¤¹â´ò±ê£¨¶þάÂë×·ËÝϵͳ£©
4.2 ÖÊÁ¿¿ØÖƹؼüµã
ȱÏݼì²â£ºAOI£¨×Ô¶¯¹âѧ¼ì²â£©ÏµÍ³Ê¶±ð¡Ý5¦ÌmµÄͲãȱÏÝ
¿É¿¿ÐÔ²âÊÔ£º
ÈÈÑ»·²âÊÔ£º-55¡æ~+125¡æ 1000´ÎÑ»·£¨IPC-9701£©
¸ßѹÕôÖóÊÔÑ飺121¡æ/100%RH/2atm 96Сʱ£¨JEDEC JESD22-A102£©
Àë×ÓǨÒƲâÊÔ£º85¡æ/85%RH/5V DC 1000Сʱ£¨IPC-TM-650 2.6.14£©