Ò»ÎÄ´øÄãÈÏʶ¹âѧÂË¹âÆ¬ËùÓÐ֪ʶ
¹âѧÂË¹âÆ¬ÊÇÒ»ÖÖÓÃÀ´Ñ¡È¡ËùÐè·øÉ䲨¶ÎµÄ¹âѧÆ÷¼þ£¬Â˳ý²»ÐèÒª·¶Î§²¨³¤µÄ¹â¡£´Ó¶ø´ïµ½¶Ô¹âµÄÂ˲¨´¦Àí¡£
Ò»¡¢¹¤×÷ÔÀí
ÂË¹âÆ¬µÄ¹¤×÷ÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚ¹âµÄÎüÊÕ¡¢¸ÉÉæºÍÑÜÉäµÈ¹âѧÏÖÏó¡£
£¨Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ£©
ÎüÊÕÐÍÂË¹âÆ¬£ºÀûÓÃÌØ¶¨²ÄÁ϶ԹâµÄÎüÊÕÌØÐÔÀ´ÊµÏÖÂ˲¨¡£¹âÏß´©¹ýÂË¹âÆ¬Ê±£¬ÆäÄÚ²¿²ÄÁÏ»áÎüÊÕijЩ²¨³¤µÄ¹â£¬¶øÔÊÐíÆäËû²¨³¤µÄ¹âͨ¹ý¡£Í¨¹ýÑ¡ÔñÐÔÎüÊÕ´ïµ½Â˳ýÆäËû²»ÐèÒªµÄ¹â£¬Ö»ÔÊÐíÌØ¶¨²¨³¤µÄ¹âͨ¹ý¡£
¸ÉÉæÐÍÂË¹âÆ¬£ºÔòÊÇÀûÓöà²ã±¡Ä¤µÄ¹âѧ¸ÉÉæÐ§Ó¦£¬Ê¹Ìض¨²¨³¤µÄ¹âÔÚ±¡Ä¤ÄÚ·¢Éú¶à´Î·´ÉäºÍÕÛÉ䣬´Ó¶øÊµÏÖ¶Ô¹âµÄÑ¡ÔñÐÔÂ˲¨¡£µ±¹âÏß¾¹ýʱ£¬²»Í¬²¨³¤µÄ¹âÔÚ±¡Ä¤Ö®¼ä·¢Éú¶à´Î·´ÉäºÍÕÛÉ䣬²úÉú¸ÉÉæÏÖÏó¡£Í¨¹ý¾«È·¿ØÖƱ¡Ä¤µÄºñ¶ÈºÍÕÛÉäÂÊ£¬¿ÉÒÔʹµÃÌØ¶¨²¨³¤µÄ¹âÔÚ¸ÉÉæ¹ý³ÌÖÐÏ໥ÔöÇ¿£¬¶øÆäËû²¨³¤µÄ¹âÏ໥µÖÏû£¬´Ó¶øÊµÏÖÌØ¶¨²¨¶ÎµÄÂ˲¨¡£ÕâÖÖÔÀíʹµÃ¸ÉÉæÐÍÂË¹âÆ¬¾ßÓиß͸ÉäÂÊ¡¢¸ß×è¶Ï¶ÈºÍ¿í²¨³¤·¶Î§µÄÌØµã¡£
ÑÜÉäÐÍÂË¹âÆ¬£ºÀûÓùâµÄÑÜÉäÔÀíÀ´¹¤×÷¡£Í¨¹ýÔÚÂË¹âÆ¬±íÃæ¿Ì»®Ìض¨µÄͼ°¸»ò½á¹¹£¬Ê¹µÃ¹âÔÚͨ¹ýʱ·¢ÉúÑÜÉ䣬ʵÏÖ¶ÔÌØ¶¨²¨³¤µÄÑ¡Ôñ¡£ÕâÖÖÂË¹âÆ¬Í¨³£¾ßÓм«¸ßµÄ²¨³¤·Ö±æÂʺÍÁé»îÐÔ£¬Äܹ»ÊµÏÖ¶Ô¹âµÄ¾«È·¿ØÖÆ¡£
¶þ¡¢ÂË¹âÆ¬·ÖÀà
¸ù¾Ý¹âÆ×²¨¶Î·ÖΪ£¬×ÏÍâÂË¹âÆ¬¡¢¿É¼ûÂË¹âÆ¬ºÍºìÍâÂË¹âÆ¬¡£
£¨Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ£©
°´¹âÆ×ÌØÐÔ·ÖΪ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬¡¢½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬¡¢Ïݲ¨ÂË¹âÆ¬¡¢
´øÍ¨ÂË¹âÆ¬ÓÖϸ·ÖΪմø´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Óë¿í´ø´øÍ¨ÂË¹âÆ¬¡£
½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬ÓÖ·ÖΪ³¤²¨½ØÖ¹¶Ì²¨Í¨ÂË¹âÆ¬ºÍ¶Ì²¨½ØÖ¹³¤²¨Í¨ÂË¹âÆ¬¡£
°´¹¦ÄÜÌØÐÔ·ÖΪ£ºÎüÊÕÂË¹âÆ¬¡¢·´ÉäÂË¹âÆ¬¡¢·Ö¹âÂË¹âÆ¬¡¢ÖÐÐÔÃܶÈÂË¹âÆ¬¡¢Æ«ÕñÂË¹âÆ¬µÈ¡£
°´Ä¤²ã²ÄÁÏ·ÖΪÈíĤÂË¹âÆ¬ºÍӲĤÂË¹âÆ¬¡£
1.¹âÆ×ÌØÐÔ·ÖÀà
×ÏÍâÂË¹âÆ¬ÊÇÒ»ÖÖÌØÊâµÄ¹âѧԪ¼þ£¬×ÏÍâÂË¹âÆ¬³£ÓÃÓÚ¹ýÂ˵ô×ÏÍâµÄij¸ö·¶Î§²¨³¤£¬Ò²¿ÉÓÃÓÚÌáȡij¸ö²¨¶Î·¶Î§ÄڵIJ¨³¤£¬ËüµÄÖ÷Òª¹¤×÷ÔÀíÊÇÒÀÀµÓÚÂË¹âÆ¬²ÄÁ϶Ô×ÏÍâÏßµÄÎüÊÕÌØÐÔ¡£µ±¹âÏßͨ¹ý×ÏÍâÂË¹âÆ¬Ê±£¬Ìض¨²¨³¤µÄ×ÏÍâÏ߻ᱻÎüÊÕ£¬¶øÆäËû²¨³¤µÄ¹âÔòµÃÒÔ͸¹ý¡£
£¨×ÏÍâÂË¹âÆ¬£©
¿É¼û¹âÂË¹âÆ¬µÄÓ¦Ó÷¶Î§·Ç³£¹ã·º£¬³£¼ûµÄ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬ÔÚÆäÓ¦Ó÷dz£¹ã·º£¬ÆäÔÒòÊÇ»ùÓÚÂË¹âÆ¬Ä¤²ãµÄÌØÊâÐÔ£¬ÓÃÓÚÏÞÖÆ×ÏÍâ¹âºÍºìÍâ¹â£¬Í¬Ê±Í¨¹ýɸѡ¿É¼û¹âµÄÌØ¶¨·¶Î§£¬È磬ÓÃÓÚ½ØÖ¹ºìÍâ¹âµÄºìÍâ½ØÖ¹Æ¬£¬¿ÉÓÃÓÚ¼à¿Ø£»ÈçÓÃÓÚÌáȡij¸öÉ«¹â²¨¶ÎµÄÎę̀µÆ¹â¡¢Òº¾§ÏÔʾÆ÷µÈ£¬ÓÃÓÚÉãÓ°µÄÂËɫƬ£¬ÓÃÓÚÒ½ÁƼì²âµÄÉúÎïÓ«¹â·ÖÎöµÈÓ¦Ó㬻¹¿ÉÓÃÓÚÑÛ¾¦±£»¤£¬ÓÃÓÚ×èµ²Óк¦À¶¹âµÄÑÛ¾µ£¬Æä¹¤×÷ÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚ¹âµÄÎüÊÕ¡¢¸ÉÉæºÍ·´Éä¡£µ±¹âÏßͨ¹ýÂË¹âÆ¬Ê±£¬ÆäÖÐÒ»²¿·Ö¹âÏ߻ᱻÎüÊÕ»ò·´É䣬¶øÁíÒ»²¿·Ö¹âÏßÔò»á͸¹ýÂË¹âÆ¬£¬´Ó¶ø¸Ä±ä¿É¼û¹âµÄ²¨³¤ºÍÑÕÉ«¡£
£¨¿É¼û¹âÕ´øÂË¹âÆ¬£©
ºìÍâÂË¹âÆ¬ÊÇÒ»ÖÖÄܹ»Ö»Í¸¹ýºìÍâ¹â£¬¶ø×èµ²¿É¼û¹âºÍ×ÏÍâ¹âµÄ¹âѧÆ÷¼þ£¬Ö÷ÒªÓÃÓÚɸѡ³öÌØ¶¨²¨³¤·¶Î§µÄºìÍâ¹âÏߵĹâѧÆ÷¼þ£¬ÀûÓùâÏߵķ´ÉäºÍÎüÊÕ×÷Óã¬ÊµÏÖÌØ¶¨²¨³¤·¶Î§µÄºìÍâ¹âµÄ͸¹ýºÍɸѡ£¬Í¨³£ÓÉÌØÊâµÄ²ÄÁÏÖÆ³É£¬Ò»°ã³£¼ûÓ¦ÓÃΪºìÍⳤ²¨Í¨ºÍºìÍâ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬£¬³£¼ûµÄ»ù²Ä°üÀ¨¹è¡¢Õà¡¢·ú»¯Ã¾¡¢·ú»¯¸Æ¡¢À¶±¦Ê¯µÈ¡£ÕâЩ²ÄÁϱ»Éè¼Æ³É¾ßÓÐÌØ¶¨µÄ¹âÆ×ÌØÐÔ£¬Ê¹Æä¶ÔºìÍâ¹â²¨¾ßÓиß͸ÉäÐÔ£¬¶ÔÆäËû²¨³¤ÓÈÆäÊǿɼû¹â²¨³¤µÄ¹â¾ßÓи߷´ÉäÐÔ»òÎüÊÕÐÔ¡£
£¨w66¹ú¼Ê¡¤ÀûÀ´£¨Öйú£©¹Ù·½1150nmºìÍâ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬£©
(Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ)
2.¹âÆ×ÌØÐÔ·ÖÀà
´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Ö÷Òª»ùÓÚ·¨²¼Àï-çêÂÞÇ»µÄÏ೤¸ÉÉæÌõ¼þ£¬ÕâʹµÃÖÐÐIJ¨³¤ºÍÖÐÐIJ¨³¤Á½²àС·¶Î§ÄڵĹâÄܹ»ÓÐЧµØÍ¸É䣬¶øÍ¨´øÍâµÄ¹âÔò»á±»×èֹ͸Éä¡£ÖÐÐIJ¨³¤Á½²àµÄ½ØÖ¹´ø¿í¿ÉÄÜÏà¶Ô½ÏС¡£ÎªÁËÔö¼ÓÂ˲¨Æ÷µÄ½ØÖ¹´ø¿í£¬ÓÐʱ»áÔÚµæÆ¬»ò»ù°åÉ϶ÆÒ»²ã¿í´ø½ØÖ¹²ÄÁÏ£¬µ«Õâ¿ÉÄܻήµÍÂË¹âÆ¬Í¨´øµÄ͸¹ýÂÊ¡£
´øÍ¨ÂË¹âÆ¬ÊôÓÚ¶ÆÄ¤ÂË¹âÆ¬µÄÒ»ÖÖ£¬ÌØÐԽ϶࣬һ°ã°´¹âÆ×Í¼ÌØÐÔ£¬·Öµ¥´øÍ¨¡¢¶à´øÍ¨£¬Óë´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Ïà·´¹âÆ×ÌØÐÔµÄÂË¹âÆ¬±ãÊÇÏݲ¨ÂË¹âÆ¬£¬Ò²½Ð¸ºÐÔÂË¹âÆ¬¡£´øÍ¨ÂË¹âÆ¬°´Í¨´ø´ø¿íÒ»°ãΪմøÂË¹âÆ¬Óë¿í´øÂË¹âÆ¬¡£
£¨Í¼Ô´ÍøÂ磬ÇÖɾ£©
µ¥´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Óë¶à´øÍ¨ÂË¹âÆ¬µÄ×îÃ÷ÏÔµÄÇø±ð±ãÊÇ´øÍ¨ÊýÁ¿µÄÇø±ð£¬¶à´øÍ¨ÂË¹âÆ¬¾ßÓи߷åֵ͸ÉäÂʺͽÏÉîµÄ½ØÖ¹£¬´Ó¶øÓÐЧµØÒÖÖÆÁ˹âÔκÍÎÂÆ¯£¬¿ÉÒÔÔÚÈκÎÓ¦ÓÃÖвúÉú×î´óÁÁ¶ÈºÍ¶Ô±È¶È£¬Ò»°ãÓÐË«´øÍ¨¡¢Èý´øÍ¨¡¢ËÄ´øÍ¨¡¢Îå´øÍ¨µÈ¡£
Ïݲ¨ÂË¹âÆ¬£¨Ò²½Ð¸ºÐÔÂË¹âÆ¬£©Óë´øÍ¨Â˹â¹âÆ×Ïà·´£¬Ö÷Òª¹¦ÄܱãÊÇ͸Éä´ó²¿·Ö²¨³¤£¬Ö»Õë¶ÔÌØ¶¨²¨³¤·¶Î§ÄÚ£¨w66¹ú¼Ê¡¤ÀûÀ´£¨Öйú£©APPÏÂÔØÒ²½Ð×è´ø£©µÄ¹âË¥¼õµ½ºÜµÍˮƽ¡£
¿í´øÂË¹âÆ¬ÊôÓÚ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬µÄÒ»¸öϸ·Ö£¬¾ßÓÐÏà¶Ô½Ï¿íµÄ͸¹ýƵÂÊ·¶Î§¡£ÆäÉè¼ÆÄ¿µÄÊÇÑ¡Ôñ¸ü¿í·¶Î§µÄ¹â²¨£¬ÔÊÐí½Ï´ó·¶Î§Ä򵀮µÂÊͨ¹ý£¬Í¬Ê±×èµ²³¬³ö¸Ã·¶Î§µÄ¹â²¨¡£¿í´øÂË¹âÆ¬Í¨³£¾ßÓнϸߵÄ͸¹ýÂÊ£¬µ«Ïà¶Ô½ÏµÍµÄ×èµ²ÄÜÁ¦£¬ÕâÊÇÒòΪÆäÄ¿±êÊÇ´«µÝ¸ü¹ã·ºµÄƵÂÊ·¶Î§¶ø²»ÊÇÑ¡ÔñÌØ¶¨µÄƵÂÊ¡£
Õ´øÂË¹âÆ¬×÷Ϊ´Ó´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Ï¸·Ö³öÀ´µÄÒ»¸öÖÖÀ࣬Æä¶¨ÒåÓë´øÍ¨ÂË¹âÆ¬Ïàͬ£¬¶¼ÊǽöÔÊÐíÌØ¶¨²¨¶ÎµÄ¹âͨ¹ý£¬¶øÆ«Àë¸Ã²¨¶ÎÒÔÍâµÄ¹âÐźŻᱻ×èÖ¹£¬Õ´øÂË¹âÆ¬¾ß±¸½ÏÕµÄͨ´ø£¬Ò»°ãÔÚÖÐÐIJ¨³¤Öµ5%ÒÔÏ¡£Õ´øÏà±ÈÓÚ¿í´øÓµÓÐ½ÏµÍµÄ°ë´ø¿í£¬Ò»°ã°ë´ø¿íÔÚ30nm×óÓÒ¼°ÒÔÏ¡£
½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬£¬Ö¸ÄÜ´Ó¸´ºÏ¹âÖÐÂ˵ôÈ«²¿³¤²¨»ò¶Ì²¨¶ø½ö±£ÁôËùÐ貨¶Î·¶Î§µÄÂË¹âÆ¬£¬Ò»°ã·ÖΪ¶Ì²¨½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬£¨³¤²¨Í¨ÂË¹âÆ¬£©ºÍ³¤²¨½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬£¨¶Ì²¨Í¨ÂË¹âÆ¬£©Á½ÖÖ¡£ÆäÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚ¹âѧĤµÄ¸ÉÉæÐ§Ó¦ÒÔ¼°Ìض¨²¨³¤µÄ¹â²¨ÔÚÂË¹âÆ¬ÉϵÄ͸ÉäºÍ·´ÉäÌØÐÔ¡£½ØÖ¹ÂË¹âÆ¬Í¨³£°üº¬¶à²ãĤÉè¼Æ£¬ÕâЩĤ²ã¾ßÓÐÌØ¶¨µÄÕÛÉäϵÊýºÍºñ¶È£¬µ±¹âÏßͨ¹ýÂË¹âÆ¬Ê±£¬ÓÉÓÚ²»Í¬²¨³¤µÄ¹âÔÚÂË¹âÆ¬¸÷²ã¼äµÄ¸ÉÉæ×÷Óã¬Ä³Ð©²¨³¤µÄ¹â»á±»·´É䣬¶øÁíһЩ²¨³¤µÄ¹âÔò»á͸Éä¹ýÈ¥£¬ÕâʹµÃÔÚÌØ¶¨²¨³¤Ï£¬¹âÏߵĴ«Êä¿ÉÒÔ±»×î´ó³Ì¶ÈµØ¼õÉÙ»òÍêÈ«Ïû³ý¡£
¶Ì²¨Í¨ÂË¹âÆ¬£¨³¤²¨½ØÖ¹Æ¬£©£¬¼òµ¥Ëµ¾ÍÊǶ̲¨Í¨¹ý£¬³¤²¨½ØÖ¹¡£Óɶà²ã¹âѧ±¡Ä¤¹¹³ÉµÄ£¬ÕâЩ±¡Ä¤¾ßÓв»Í¬µÄÕÛÉäÂʺͺñ¶È£¬Ö÷ÒªÓÃÓÚ´«Êä½Ï¶Ì²¨³¤µÄ¹â²¢×èÖ¹½Ï³¤²¨³¤µÄ¹âͨ¹ý£¬ÆäÔÀíÊÇ»ùÓڹⲨÓëÂË¹âÆ¬Ä¤²ãÖ®¼äµÄÏ໥×÷Óã¬ÌرðÊÇÀûÓùâѧ±¡Ä¤µÄ¸ÉÉæÐ§Ó¦À´ÊµÏֶԹⲨ²¨³¤µÄÑ¡ÔñÐÔ͸¹ý£¬µ±¹âÏßͨ¹ýÂË¹âÆ¬Ê±£¬²»Í¬²¨³¤µÄ¹â²¨ÔÚĤ²ãÖ®¼ä·¢Éú¸ÉÉæ¡£
³¤²¨Í¨ÂË¹âÆ¬¶¨ÒåÓë¶Ì²¨Ïà·´£¬¸ù¾ÝÖ¸¶¨µÄ²¨³¤£¬³¤²¨Í¨¹ý£¬¶Ì²¨±»½ØÖ¹¡£³¤²¨Í¨ÂË¹âÆ¬²ÉÓÃÌØÊ⹤ÒÕ¼Ó¹¤¶ø³É£¬ÄÚ²¿Óɶà²ã¹âѧ±¡Ä¤×é³É£¬Ã¿²ã±¡Ä¤µÄÕÛÉäÂʺͺñ¶È¶¼¾¹ý¾«ÃܼÆËãºÍÉè¼Æ£¬¾ßÓиß͸ÉäÂÊ¡¢µÍËðºÄºÍÁ¼ºÃµÄ¹âÆ×͸¹ýÐÔ¡£Æä¹¤×÷ÔÀíºÍÉè¼ÆÄ¿µÄÖ÷ÒªÊÇÔÊÐí³¤²¨³¤µÄ¹â²¨Í¨¹ý£¬Í¬Ê±×èÖ¹¶Ì²¨³¤µÄ¹â²¨Í¨¹ý£¬µ±¹âÏßÈëÉäµ½ÂË¹âÆ¬ÉÏʱ£¬ÕâЩ±¡Ä¤»á¶Ô²»Í¬²¨³¤µÄ¹â²¨½øÐиÉÉæ¡¢·´ÉäºÍ͸Éä¡£
3.¹¦ÄÜÌØÐÔ·ÖÀà
ÎüÊÕÂË¹âÆ¬£¬Ò»°ãÖ¸µÄÊǺ¬ÓÐijÖÖÓÐÉ«½ðÊôÑõ»¯ÎïµÄÓÐÉ«²£Á§£¬¶ÔijЩ²¨³¤·¶Î§µÄ¹â¾ßÓÐÇ¿ÁÒµÄÎüÊÕÄÜÁ¦£¬Í¸¹ý¹âÔò³Êµ¥É«ÐÔ¡£³£¼ûµÄÈçºìÉ«ÓÐÉ«²£Á§ÂË¹âÆ¬¡£
·´ÉäÂË¹âÆ¬ÊÇͨ¹ý·´Éä×÷ÓÃÀ´µ÷¿Ø¹âÏßµÄ͸¹ýºÍË¥¼õ£¬Ö÷ÒªÒÀÀµÓÚ¹âѧ±¡Ä¤µÄ¸ÉÉæÐ§Ó¦À´ÊµÏÖ¶ÔÌØ¶¨²¨³¤¹âÏߵķ´É䣬Òò´ËÎÞÐ迼ÂDzÄÁ϶ԹâµÄÎüÊÕ¡£ÆäÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚ¹âµÄ¸ÉÉæºÍ±¡Ä¤·´ÉäÌØÐÔ£¬Óɶà²ã¹âѧ±¡Ä¤×é³ÉµÄÂË¹âÆ¬£¬Ã¿²ã±¡Ä¤¶¼¾ßÓÐÌØ¶¨µÄÕÛÉäÂʺͺñ¶È¡£µ±¹âÏßÈëÉäµ½·´ÉäÂË¹âÆ¬ÉÏʱ£¬ÕâЩ±¡Ä¤²ã»á¶Ô¹âÏß½øÐжà´Î·´ÉäºÍ͸É䣬ÓÉÓÚ¸ÉÉæÐ§Ó¦£¬Ä³Ð©²¨³¤µÄ¹âÏ߻ᱻ¼ÓÇ¿·´É䣬¶øÆäËû²¨³¤µÄ¹âÏßÔò¿ÉÄÜ͸Éä»òË¥¼õ¡£
ÖÐÐÔÃܶÈÂË¹âÆ¬Ò²³ÆË¥¼õƬ£¬ÖÐÐÔÃܶȾµ£¨ND¾µ£©¡¢ÖÐÐÔÃܶÈË¥¼õƬ¡¢¹Ì¶¨ÖÐÐÔÃÜ¶ÈÆ¬£¬ÀûÓÃÎïÖʶԹâµÄÎüÊÕÌØÐÔ£¬ÖÆ³ÉÆ¬×´£¬·ÅÔÚ¹â·ÉÏ£¬¿ÉÒÔ½«¹âǿ˥¼õ£¬ÕâÖÖÆ¬×´Ôª¼þ½Ð¹âѧ˥¼õƬ¡£ÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚÎïÖʶԹâµÄÎüÊÕ»ò·´ÉäÌØÐÔ£¬ÖÐÐÔÃܶÈÂË¹âÆ¬Ö÷Òª·ÖΪÎüÊÕÐͺͷ´ÉäÐÍ¡£ÎüÊÕÐÍÂË¹âÆ¬ÀûÓÃÎïÖʶԹâµÄÎüÊÕÌØÐÔÀ´Ë¥¼õ¹âÇ¿£¬¶ø·´ÉäÐÍÂË¹âÆ¬Ôò»ùÓÚ±¡Ä¤¸ÉÉæÔÀí£¬Í¨¹ýÔÚ¹âѧ»ù°åÉ϶ÆÄ¤£¬Ê¹Ò»²¿·Ö¹â͸É䣬ÁíÒ»²¿·Ö·´Éä¡£
·Ö¹âÂË¹âÆ¬ÊÇÒ»ÖÖÌØÊâµÄ¹âѧÆ÷¼þ£¬ËüÖ÷ÒªÓÃÓÚ½«¹â·Ö³É²»Í¬µÄ²¨³¤»òÑÕÉ«³É·Ö¡£ËüµÄ¹¤×÷ÔÀíÖ÷Òª»ùÓÚ¹âµÄ¸ÉÉæ¡¢ÑÜÉä»ò±¡Ä¤Ð§Ó¦£¬Í¨¹ý¸Ä±ä¹âµÄ´«²¥Â·¾¶»òÇ¿¶ÈÀ´ÊµÏÖÌØ¶¨²¨³¤µÄ·ÖÀë»òË¥¼õ¡£ÔÚw66¹ú¼Ê¡¤ÀûÀ´£¨Öйú£©APPÏÂÔØ¾³£¿´µ½·Ö¹âƬÖУ¬¶þÏò·Ö¹âƬ±ãÊÇ×î³£¼ûµÄ·Ö¹âƬ£¬Ëü¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚ¶à¸öÁìÓò£¬Èç¹âѧÒÇÆ÷¡¢¼¤¹âÒÇÆ÷¡¢ÏÔ΢¾µ·ÖÎö¡¢ÀÂü·ÖÎöµÈ£»
Æ«ÕñÂË¹âÆ¬£ºÓÃÒԸıäÕÕÆ¬ÖеĹâµÄƽºâ£¬Í¨³£·ÅÖÃÔÚÏà»ú¾µÍ·µÄÇ°Ãæ£¬ÒÔʹÌì¿Õ±ä°µ»òÒÖÖÆÀ´×Ôºþ²´»ò´óº£µÄÑ£¹â¡£¸ù¾ÝÓÅÑ¡µÄÒÕÊõЧ¹ûµ÷Õû¹ýÂËÆ÷µÄÐýת·½Ïò¡£¶ÔÓÚÏÖ´úÏà»ú£¬Í¨³£Ê¹ÓÃԲƫÕñƬ£¬ËüÊ×ÏÈÓÉÒ»¸öÏßÐÔÆ«ÕñƬ£¬½Ó×ÅÊÇÒ»¸öËÄ·ÖÖ®Ò»²¨Æ¬£¬ÔÚ½øÈëÏà»ú֮ǰ£¬½«ÏßÐÔÆ«Õñ¹âת»»³ÉԲƫÕñ¹â¡£
4.Ĥ²ã²ÄÁÏ·ÖÀà
¶ÆÄ¤ÂË¹âÆ¬¸ù¾ÝĤ²ã²ÄÁÏÒ»°ã·ÖΪÈíĤÂË¹âÆ¬ºÍӲĤÂË¹âÆ¬¡£
ÈíĤÂË¹âÆ¬Í¨³£Óɶà²ã±¡Ä¤×é³É£¬ÕâЩ±¡Ä¤¿ÉÄÜÓÉÁò»¯Ð¿¡¢Àä¶³¼Á¡¢ÉõÖÁÊÇÒøµÈ²ÄÁÏÖÆ³É¡£ËüµÄÔÀíÖ÷Òª»ùÓڹⲨÔÚÂË¹âÆ¬Ä¤²ã´«Êä¹ý³ÌÖвúÉúµÄ¸÷ÖÖÌØÐԱ仯£¬Èç͸Éä¡¢ÎüÊÕ¡¢É¢Éä¡¢·´É䡢ƫÕñ¡¢Ïàλ±ä»¯µÈ¡£µ±¹âÏßͨ¹ýÈíĤÂË¹âÆ¬Ê±£¬²»Í¬²¨³¤µÄ¹â²¨»áÔÚĤ²ãÖз¢Éú¸ÉÉæ¡¢ÑÜÉäµÈЧӦ£¬´Ó¶øµ¼ÖÂÌØ¶¨²¨³¤µÄ¹â²¨±»·´Éä¡¢ÎüÊÕ»ò͸Éä¡£Òò´Ë£¬ÈíĤÂË¹âÆ¬Ò»°ãÓÃÓÚÉú»¯·ÖÎöÒǵÈÌØ¶¨É豸¡£
£¨¼¤¹âÀ×´ïBP1550nm´øÍ¨ºìÍâÂË¹âÆ¬£©
ӲĤÂË¹âÆ¬µÄĤ²ãͨ³£Óɶà²ãÌØÊâ²ÄÁÏ×é³É£¬²ÉÓõÄÊÇÀë×ÓÊø½¦É乤ÒÕ£¬Ê¹µÃĤ²ã¸üÖÂÃÜ£¬ÎÞÐè±£»¤²ã£¬½á¹¹¸ü¼òµ¥£¬½çÃæÉÙ£¬¼õÉÙ·´ÉäºÍÉ¢É䣬´Ó¶øÌá¸ßÁË͸¹ýÂÊ¡£Ó²Ä¤ÂË¹âÆ¬µÄÌØµãÔÚÓÚûÓÐÒòÕ³ºÏ¼ÁÒýÆðµÄ¹âËðÉË¡¢ÐÔÄܽµµÍºÍ×Ô·¢Ó«¹âµÄÎÊÌ⣬ÆäĤ²ã¾ßÓнϸߵÄÓ²¶ÈºÍ¼¤¹âËðÉËãÐÖµ£¬Òò´ËÄܹ»³ÐÊܸßÇ¿¶ÈµÄ¼¤¹âÕÕÉä¶ø²»Ò×Êܵ½Ë𺦡£
¹ØÓÚÂË¹âÆ¬µÄ·ÖÀàÆäʵ»¹Óкܶ࣬ÓÉÓÚ²»Í¬µÄ»ù²ÄÔÒò£¬ÂË¹âÆ¬Æäʵ»¹Äܹ»¸ù¾Ý²»Í¬µÄ»ù²ÄÌõ¼þ½øÐл®·Ö£¬ÈçËÜÁÏÂË¹âÆ¬¡¢²£Á§ÂË¹âÆ¬¡¢µ¥¾§ÂË¹âÆ¬£¨Èç¹è¡¢ÕࣩµÈ¡£
ÂË¹âÆ¬µÄһЩ¹Ø¼üÖ¸±ê
ͨ´ø£º¹âÄܹ»Í¨¹ýµÄËùÔÚ²¨³¤ÇøÓò·¶Î§¾Í½Ð×öͨ´ø¡£
´ø¿í£¨FWHM£©£º Ò²½Ð°ë·åÈ«¿í£¬Ó¢ÎÄÈ«³Æfull width at half maxima£¬¼ò³Æ°ë¿í¶È£¬°ë·å¿í£¬°ë·å¿í¶È£¬Ò»°ãÖ¸´øÍ¨ÂË¹âÆ¬£¬Ëü±íʾ·åֵ͸¹ýÂÊÒ»°ëλÖùâÆ×ËùÔÚ²¨¶ÎÖ®¼äµÄ²îÖµ¡£¿´Í¼ÖУ¬¦ËLÓë¦ËRÖ®¼äµÄ¾àÀë¾ÍÊÇ¡£´ø¿íÒ»°ãÒ²¿ÉÒÔ·Ö±ç³ö¿í´øÓëÕ´ø£¬Õ´ø´ø¿íÒ»°ã½ÏµÍ£¬ÔÚ30nm×óÓÒ»òÒÔÏ£¬ÇÒÕ´øµÄͨ´øÏà¶Ô½ÏÕ£¬Ò»°ãΪÖÐÐIJ¨³¤ÖµµÄ5%ÒÔÏ¡£
ÖÐÐIJ¨³¤£¨CWL£©£º³£ÓÃÓÚ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬£¬ËüÊÇÖ¸·åֵ͸ÉäÂÊÒ»°ëµÄ²¨³¤Ö®¼äµÄÖе㣬Ҳ±»³ÆÎª°ë·åÈ«¿í£¨FWHM£©µÄÖе㣬ÓÐʱҲ»áÓÃÓÚ±íʾ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬µÄ·åֵ͸ÉäÂÊ»òÏݲ¨ÂË¹âÆ¬µÄ·åÖµ·´ÉäÂÊ¡£Í¨³£ÓÃÀ´ÃèÊöÒ»Êø¹âµÄÖÐÐÄÆµÂÊ»ò²¨³¤¡£w66¹ú¼Ê¡¤ÀûÀ´£¨Öйú£©APPÏÂÔØ³£ËµµÄÐͺÅBP-680nm´øÍ¨£¬ÆäÖÐ680nm¾ÍÊDzο¼µÄÖÐÐIJ¨³¤¡£
͸¹ýÂÊ£¨T£©£¬Í¸¹ýÂÊÒ»°ã±íʾ¹â½øÈëÂË¹âÆ¬ºó³öÏÖµÄËðºÄ£¬Îª¾µÆ¬Éä³ö¹âÓëÉäÈë¹âµÄ±ÈÖµ£¬µ±Í¸¹ýÂʵ½10%»òÒÔϾͱíÏÖΪ½ØÖ¹£¬w66¹ú¼Ê¡¤ÀûÀ´£¨Öйú£©APPÏÂÔØ³£ÓÃODÖµ±íʾ£¬OD=-log£¨T£©£¬¸ù¾ÝOD1~OD6£¬½ØÖ¹´øÍ¸¹ýÂÊ´Ó0.1~0.000001¡£
OD±àºÅ ½ØÖ¹´øÍ¸¹ýÂÊ
OD1=0.1 ¼´10%
OD2=0.01 ¼´1%
OD3=0.001 ¼´0.1%
OD4=0.0001 ¼´0.01%
OD5=0.00001 ¼´0.001%
OD6=0.000001 ¼´0.0001%
½ØÖ¹²¨¶Î£¬Ò»°ã±íʾÂË¹âÆ¬½ØÖ¹¹â²¨¶ÎµÄ·¶Î§£¨Í¨´øÖ®ÍâµÄ²¨³¤·¶Î§£©£¬ÓÃÓÚ±íʾͨ¹ýÂË¹âÆ¬ËðºÄµÄÄÜÁ¿¹âÆ×ÇøÓòµÄ²¨³¤¼ä¸ô£¬Ö¸³ýÁËͨ´øÒÔÍ⣬ҪÇó½ØÖ¹µÄ²¨³¤·¶Î§¡£¶ÔÓÚÕ´øÂË¹âÆ¬¶øÑÔ£¬Ö»ÐèÒªÖ¸Ã÷×î¶Ì²¨³¤Óë×²¨³¤£¬¾Í¿ÉÒÔÖªµÀ¸ÃÂË¹âÆ¬µÄ½ØÖ¹·¶Î§¡£
Æðʼ²¨³¤£ºÆðʼ²¨³¤ÊÇÖ¸ÔÚ³¤²¨Í¨ÂË¹âÆ¬ÖÐ͸ÉäÂÊÔö¼ÓÖÁ·åÖµµÄ1/2ʱËù¶ÔÓ¦µÄ²¨³¤£¬ÔÚ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬ÖÐÓÐʱҲ¿É¶¨ÒåΪ5£¥»ò10£¥µÄ·åֵ͸¹ýÂÊËù¶ÔÓ¦µÄ²¨³¤¡£½ØÖ¹²¨³¤£º½ØÖ¹²¨³¤ÊÇÓÃÖ¸Ôڶ̲¨Í¨ÂË¹âÆ¬ÖÐ͸ÉäÂʽµµÍÖÁ·åÖµµÄ1/2ʱËù¶ÔÓ¦µÄ²¨³¤£¬ÔÚ´øÍ¨ÂË¹âÆ¬ÖÐÓÐʱҲ¿É¶¨ÒåΪ5£¥»ò10£¥µÄ·åֵ͸¹ýÂÊËù¶ÔÓ¦µÄ²¨³¤¡£
ÂË¹âÆ¬µÄ±íÃæ¹æ¸ñºÍ³ß´ç²ÎÊý
±íÃæÖÊÁ¿ÂË¹âÆ¬µÄ±íÃæÖÊÁ¿£¬Ö÷ÒªÆä±íÃæ»á²»¿É±ÜÃâµØÓÐһЩ»®ºÛºÍ¿ÓµãµÈȱÏÝ£¬±íÃæÖÊÁ¿×î³£ÓõĹæ¸ñÊÇÓÉMIL-PRF-13830B˵Ã÷µÄ»®ºÛºÍ¿Óµã¹æ¸ñ£¬¿ÓµãÃû³ÆÊÇͨ¹ýÒÔ΢Ã׼ƵĿӵãÖ±¾¶³ýÒÔ10À´¼ÆËãµÄ£¬Í¨³£»®ºÛ¿Óµã¹æ¸ñÔÚ80ÖÁ50·¶Î§ÄÚ½«³ÆÖ®Îª±ê×¼ÖÊÁ¿£»ÔÚ60ÖÁ40·¶Î§ÄÚÊÓΪ¾«È·ÖÊÁ¿£»¶øÔÚ20ÖÁ10·¶Î§ÄÚ½«ÊÓΪ¸ß¾«¶ÈÖÊÁ¿¡£
±íÃæÆ½»¬¶È±íÃæÆ½Ãæ¶ÈÊDzâÁ¿±íÃæ¾«¶ÈµÄÒ»ÖÖ£¬ËüÓÃÓÚ²âÁ¿·´Éä¾µ¡¢´°¿ÚƬ¡¢Àâ¾µ»òƽ¹â¾µµÈÆ½ÃæµÄÆ«²î£¬Æ½»¬¶ÈµÄÆ«²îͨ³£Êǰ´²¨ÎÆÖµ£¨¦Ë£©À´²âÁ¿µÄ£¬ËüÃÇÊÇÓɶà¸ö²¨³¤µÄ²âÊÔÔ´×é³É£¬Ò»¸öÌõÎÆ¶ÔÓ¦1/2µÄ²¨³¤£¬Æ½»¬¶ÈΪ1¦Ë£¬Ôò´ú±íÒ»°ãµÄÖÊÁ¿¼¶±ð£»Æ½»¬¶ÈΪ¦Ë/4£¬Ôò´ú±í¾«È·µÄÖÊÁ¿¼¶±ð£»Æ½»¬¶ÈΪ¦Ë/20£¬Ôò´ú±í¸ß¾«¶ÈµÄÖÊÁ¿¼¶±ð¡£¹«²î£¨Tolerance£©£ºÂË¹âÆ¬µÄ¹«²î£¬Ö÷ÒªÊÇÔÚÖÐÐIJ¨³¤Óë°ë¿í´øÉÏ£¬Òò´ËÂË¹âÆ¬²úÆ·¹«²î·¶Î§µÄ±êÃ÷¡£
Ö±¾¶¹«²îÒ»°ãÇé¿öÏ£¬ÂË¹âÆ¬Ö±¾¶µÄ¹«²îÓ°ÏìÔÚʹÓùý³ÌÖеÄÓ°Ïì²»ÊǺܴ󣬵«ÊÇÒª½«¹âѧÆ÷¼þ°²×°Ôڹ̶¨Æ÷Éϵϰ£¬¾ÍÒª¿¼ÂÇÖ±¾¶¹«²îÁË¡£Í¨³£Çé¿öÏ£¬Ö±¾¶µÄ¹«²îÔÚ£¨¡À0.1 mm£©³ÆÎªÒ»°ãÖÊÁ¿£¬£¨¡À0.05 mm£©³ÆÎª¾«ÃÜÖÊÁ¿£¬£¨¡À0.01 mm£©³ÆÎª¸ßÖÊÁ¿¡£
ÖÐÐĺñ¶È¹«²îÖÐÐĺñ¶ÈÊDZíʾÂË¹âÆ¬ÖÐÐIJ¿·ÖµÄºñ¶È¡£Í¨³£Çé¿öÏ£¬ÖÐÐĺñ¶ÈµÄ¹«²îÔÚ£¨¡À0.2mm£©³ÆÎªÒ»°ãÖÊÁ¿£¬£¨¡À0.05mm£©³ÆÎª¾«ÃÜÖÊÁ¿£¬£¨¡À0.01mm£©³ÆÎª¸ßÖÊÁ¿¡£